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1、溫度穩定性好

電容式傳感器的電容值一般與電極材料無關，這有利于挑選溫度系數低的材料，又因本身發熱極小，影響穩定性甚微。而電阻傳感器有銅損，易發熱產生零漂。

2、結構簡略

電感式傳感器結構簡略，易于制作和確保高的精度，可以做得非常細巧，以實現某些特別的丈量;能作業在高溫，強輻射及強磁場等惡劣的環境中，可以接受很大的溫度改變，接受高壓力，高沖擊，過載等;能丈量超高溫文低壓差，也能對帶磁作業進行丈量。

3、動態呼應好

電感式傳感器因為帶電極板間的靜電引力很小(約幾個10^(-5)N)，需求的作用能量極小，又因為它的可動部分可以做得很小很薄，即質量很輕，因而其固有頻率很高，動態呼應時間短，能在幾兆赫茲的頻率下作業，特別適用于動態丈量。又因為其介質損耗小可以用較高頻率供電，因而體系作業頻率高。它可用于丈量高速改變的參數。

4、可以非接觸丈量且靈敏度高

可非接觸丈量回轉軸的振動或偏心率、小型滾珠軸承的徑向空隙等。當選用非接觸丈量時，電容式傳感器具有均勻效應，可以減小工件表面粗糙度等對丈量的影響。