依據傳感器的作業原理可把電容式傳感器分為變極距型、變面積型和變介質型三種類型。
依據傳感器的結構可把電容式傳感器分為三種類型的結構方式。它們又可按位移的方式分為線位移和角位移兩種,每一種又依據傳感器極板形狀分紅平(圓形)板形和圓柱(圓筒)形,雖然還有球面形和鋸齒形等其他形狀,但一般很少用。其中差動式一般優于單組(單邊)式傳感器,它具有靈敏度高、線性范圍寬、穩定性的特點。